| Ф.И.О. | Волкова Екатерина Ивановна |
|---|---|
| Диссертация | Кандидатская диссертация на тему: Исследование и разработка МЭМС-вакуумметра с монокристаллическим кремниевым резонатором |
| Диссертационный совет | 24.2.340.01 |
| Научная специальность | 2.2.2. - Электронная компонентная база микро- и наноэлектроники, квантовых устройств (физико-математические науки) |
| Дата защиты | 26.04.2023 |
| Статус | Присвоена степень кандидата наук |