1. Атласкин Артем Анатольевич, кандидат технических наук, заведующий лабораторией технологий веществ электронной чистоты Российского химико-технологического университета им. Д.И. Менделеева - отзыв
2. Бахтизин Рауф Загидович, доктор физико-математических наук, профессор, заслуженный работник Высшей школы РФ, профессор кафедры физической электроники и нанофизики Физико-технического института Башкирского государственного университета, заслуженный профессор Башкирского государственного университета - отзыв
3. Дерябин Михаил Сергеевич, кандидат физико-математических наук, заведующий сектором № 723 Института прикладной физики РАН - отзыв
4. Титаренко Алексей Александрович, доктор технических наук, заместитель директора по технологическому развитию по критической информационной инфраструктуре Госкорпорации "Росатом", генеральный директор АО "НПО КИС" - отзыв
5. Эннс Яков Борисович, кандидат технических наук, старший научный сотрудник научно-исследовательской лаборатории "Нано и микросистемной техники" Санкт-Петербургского политехнического университета Петра Великого - отзыв

Адрес: Россия, 634050, г. Томск, проспект Ленина, дом 30
Канцелярия:
634050, г. Томск, пр. Ленина, 30, главный корпус, офис 127
+7 (3822) 60-63-33
+7 (3822) 60-64-44
tpu@tpu.ru
https://tpu.ru

Список основных публикаций работников ведущей организации по теме диссертации в рецензируемых научных изданиях за последние 5 лет:
1. Nesterenko T. G., Koleda A. N., Barbin E. S. Integrated microelectromechanical gyroscope under shock loads // IOP Conference Series: Materials Science and Engineering. 2018. Vol. 289: Modern Technologies for Non-Destructive Testing. 012003. 7 p.
2. Baranov P. F., Baranova V. E., Nesterenko T. G. Mathematical model of a fluxgate magnetometer // MATEC Web of Conferences. 2018. Vol. 158: Space Engineering. 01006. 6 p.
3. Kolomeytsev A. A., Baranov P. F., Zatonov I. A. The Fluxgate Magnetometer Simulation in Comsol Multiphysics // MATEC Web of Conferences. 2018. — Vol. 155: Information and Measuring Equipment and Technologies (IME&T 2017). 01005. 6 p.
4. Baranov P. F., Kolomeytsev A. A., Nesterenko T. G. Analysis of MEMS Fluxgate Design for Vibration and Impact // Materials Science Forum Scientific Journal: [Electronic resource]. 2019. Vol. 970: Modern Problems in Materials Processing, Manufacturing, Testing and Quality Assurance II. P. 107-114.
5. Nesterenko T. G., Barbin E. S., Koleda A. N. Influence of Technological Process for Microelectromechanical Sensors Manufacturing on their Technical Characteristics // Materials Science Forum Scientific Journal: [Electronic resource]. 2019. Vol. 970: Modern Problems in Materials Processing, Manufacturing, Testing and Quality Assurance II. P. 123-129.
6. A novel multiple-axis MEMS gyroscope-accelerometer with decoupling frames / P. F. Baranov, T. G. Nesterenko, E. S. Barbin [et al.] // Sensor Review. 2019. Vol. 39, iss. 5. P. 670-681.
7. Baranov P. F., Nesterenko T. G., Barbin E. S., Koleda A. N. Constructive approach to reduce the influence of temperature on spring suspension eigenfrequencies // Sensor Review. 2020. Vol. 40, iss. 3. P. 297-309.
8. Muravyov (Murav’ev) S. V., Baranov P. F., Khudonogova L. I., Dai H. M. Inertial MEMS Sensors Accuracy Improvement by Interval Fusion with Preference Aggregation // SENSORS 2020 Conference Proceedings of IEEE Sensors 2020. 2020. 4 p.
9. Development of medical capacitive coupling electrodes using the skin-electrode contact control / G. S. Evtushenko, I. A. Lezhnina, A. I. Morenets (Kuritsyn) [et al.] // Sensor Review. 2020. Vol. 40, iss. 3. 9 р.
10. Проектирование планарного феррозондового датчика по технологии печатных плат / А. А. Коломейцев, И. А. Затонов, М. И. Пищанская [и др.] // Приборы и методы измерений. 2021. Т. 12, № 2. С. 117-123.
11. Search for the Frequency of Ultrasonic Exposure to Intensify Drug Treatment of Gallstone Disease: Chap. / E. Yu. Dikman, Yu. A. Zyuzkova, I. F. Nam [et al.] // Progress in Material Science and Engineering / eds. I. V. Minin, S. Uchaikin, A. Rogachev, O. Stary. 2021. Vol. 351: Studies in Systems, Decision and Control (SSDC). P. 237-246.
12. Geynts Yu. E. Minin I. V, Minin O. V. Talbot photolithography optimization with engineered hybrid metal-dielectric mask: High-contrast and highly-uniform Talbot stripes // Optics and Laser Technology. 202. Vol. 148. 107776. 8 p.
13. In-plane subwavelength optical capsule for lab-on-a-chip nano-tweezers / O. V. Minin, Wei-Yu Chen, Shuo-Chih Chien [et al.] // Optics Letters. 2022. Vol. 47, iss. 4. P. 794-797.
14. Sidorov V. V., Rybakov Yu. L., Gukasov V. M., Evtushenko G. S. /A System of Local Analyzers for Noninvasive Diagnostics of the General State of the Tissue Microcirculation System of Human Skin // Biomedical Engineering. 2022. Vol. 55, iss. 6. P. 379–382.
15. Geynts Yu. E., Minin O. V., Minin I. V. Proof-of-concept of a miniature pressure sensor based on coupled optical WGMs excited in a dielectric microsphere // Optics and Laser Technology. 2022. Vol. 151. 108015. 4 p.

1. Калугин Виктор Владимирович, доктор технических наук, доцент, Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования «Национальный исследовательский университет «Московский институт электронной техники», профессор Института нано- и микросистемной техники (отзыв)
   
   

   Наименования отрасли науки, научной специальности, по которым оппонентом защищена диссертация:
   05.27.06 - Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники (технические науки)

   Список основных публикаций официального оппонента по теме диссертации в рецензируемых научных изданиях за последние 5 лет:
   1. Калугин В.В., Анчутин С.А., Кочурина Е.С., Головинский М.С., Шалимов А.С. Оценка работоспособности чувствительного элемента преобразователя линейных ускорений и расчет основных параметров // Приборы. Приборы и средства автоматизации. №9 (219). 2018. С.1-5.
   2. Korobova N., Razzhivalov P., Kalugin V. Estimation of the external factors influence on the sensor accuracy // Proceedings of the 2018 IEEE Conference of Russian Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering, ElConRus 2018. Volume 2018, P. 1631-1634. DOI: 10.1109/EIConRus.2018.8317413.
   3. Timoshenkov S., Kalugin V., Anchutin S., Kochurina E. Simulation of the sensitive elements of the micro-accelerometer with the software product ANSYS // Proceedings of International Conference «Micro- and Nanoelectronics – 2018». 2018. IC MNE. IC Micro- and nanoelectronics. Book of Abstracts. 2018. Moscow, Zvenigorod, Russia. P1-23. P.95.
   4. Шалимов А.С, Тимошенков С.П., Головинский М.С, Долговых Л.И, Калугин В.В. Обеспечение работы и самокалибровки МЭМС- инклинометра в условиях воздействия различных внешних воздействующих факторов. // Нано-и микросистемная техника, Т.20, №2. 2018 г., С.124-128.
   5. Шалимов А.С., Кочурина Е.С., Калугин В.В., Тимошенков С.П. Разработка и моделирование МЭМС-устройств // Учебное пособие. ISBN 978-5-7256-0919-6. М.: МИЭТ. 2019. -144 с.
   6. Тимошенков С.П., Калугин В.В., Анчутин С.А., Зарянкин Н.М., Кочурина Е.С. Особенности конструкции и технологии изготовления чувствительного элемента микроакселерометра // Наноиндустрия. Номер: S (89). 2019. С. 480-483. DOI: 10.22184/NanoRus.2019.12.89.480.483.
   7. Калугин В.В., Юзов П.П., Собанин Р.О. Анализ конструкции и материалов для работы МЭМС-датчиков в условиях открытого космоса // Сборник трудов Научно-практической конференции «Интеллектуальные системы и микросистемная техника. 2019. С.45-50.
   8. Тимошенков А.С, Анчутин С.А., Кочурина Е.С., Мусаткин А.С., Головинский М.С., Калугин В.В., Пузиков В.В., Тимошенков С.П. Разработка и исследование микромеханического акселерометра // Наноиндустрия. Номер: S96-2. 2020. С. 445-449. DOI: 10.22184/1993-8578.2020.13.3s.445.449.
   9. Тимошенков А.С, Анчутин С.А., Кочурина Е.С., Зарянкин Н.М., Калугин В.В., Плеханов В.Е., Полушкин В.М. Разработка микромеханического акселерометра // Наноиндустрия. Том: 13. № S5-2 (102). 2020. С. 617-620. DOI:10.22184/1993-8578.2020.13.5s.617.620.
   10. Калугин В.В., Виноградов А.И., Калугина И.В. Создание микромеханического элемента с вертикальным профилем для СВЧ-приборов // СВЧ-техника и телекоммуникационные технологии. Номер: 1-2. 2020. С.255-256.
   11. Тимошенков С.П., Калугин В. В., Кобзева А.С., Изергин О. Е. Исследование процесса глубокого травления кремния // Сборник статей Национальной (Всероссийской) научно-практической конференции «Инновационные механизмы решения проблем научного развития». Уфа. 2021. С.41-44.
   12. Тимошенков С. П., Анчутин С. А., Зарянкин Н. М., Калугин В. В., Кочурина Е. С., Тимошенков А. С., Боев Л. Р. Проектирование и изготовление чувствительного элемента МЭМС-акселерометра // Нано- и микросистемная техника. Т. 23, № 2, 2021. С. 63-67. DOI:10.17587/nmst.23.63-67.
   13. Kochergin M.D., Anchutin S.A., Zaryankin N.M., Kochurina E.S., Kalugin V.V. Development of a Micromechanical Accelerometer // Proceedings of the 2021 IEEE Conference of Russian Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering, ElConRus 2021. Volume 2021. P. 2442 - 2445. DOI:10.1109/ElConRus51938.2021.9396108.
   14. Sosnovsky A.V., Kalugin V.V., Burakov M.M. Investigation of Bondply Leakage Disposition at Inner PCB Layers during Process of Thermal-Pressure Bonding // Proceedings of the 2021 IEEE Conference of Russian Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering, ElConRus 2021. Volume 2021. P. 2491 - 2494. DOI: 978-073814275-3.10.1109/ElConRus51938.2021.9396725.
   15. Кочурина Е.С., Анчутин С.А., Калугин В.В., Зарянкин Н.М., Тимошенков А.С., Дернов И.С. Разработка чувствительного элемента микромеханического акселерометра // Известия вузов. Электроника, Т. 27, № 1, 2022. С. 59-67. DOI: 10.24151/1561-5405-2022-27-1-59-67.

2. Тимошенко Павел Евгеньевич, кандидат физико-математических наук, доцент, Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования «Южный федеральный университет», доцент кафедры «Нанотехнология» физического факультета (отзыв)
   
   

   Наименования отрасли науки, научной специальности, по которым оппонентом защищена диссертация:
   01.04.03 - Радиофизика (физико-математические науки)

   Список основных публикаций официального оппонента по теме диссертации в рецензируемых научных изданиях за последние 5 лет:
   1. Leontyev I.N., Timoshenko P.E., Mikheykin A.S., Allix M., Rakhmatullin A., Kuriganova A.B., Smirnova N.V., Maslova O.A. On the Evaluation of the Average Crystalline Size and Surface Area of Platinum Catalyst Nanoparticles // Physica Status Solidi (B): Basic Solid State Physics. 2018. V. 255. № 10. 1800240. DOI: 10.1002/pssb.201800240.
   2. Timoshenko P.E., Kalinchuk V.V., Shirokov V.B. Finite-element analysis of scattering parameters of surface acoustic wave bandpass filter formed on barium titanate thin film // International Journal of Smart and Nano Materials. 2018. 9 (2). P. 88-98. DOI: 10.1080/19475411.2018.1447045
   3. Shirokov V.B., Kalinchuk V.V., Timoshenko P.E. Electric-field-dependent mechanical and electrical properties of barium strontium titanate films for tunable device applications // Thin Solid Films. 2018. V. 657. P. 8-15. DOI: 10.1016/j.tsf.2018.04.029.
   4. Лерер А.М., Тимошенко П.Е., Головачева Е.В., Кайдашев Е.М., Турчин А.С. Оптические свойства фотонных кристаллов на основе наностержней оксида цинка, покрытых тонкой пленкой плазмонного материала // Электроника и микроэлектроника СВЧ. 2019. Т. 1. С. 209-213.
   5. Конечно-элементное моделирование фотонных кристаллов: Учебное пособие / А. С. Турчин, П. Е. Тимошенко, В. Б. Широков [и др.]. Ростов-на-Дону: Издательство Южного научного центра РАН, 2019. 56 с. ISBN 978-5-4358-0192-7.
   6. Shirokov V.B., Pan'kin A.V., Timoshenko P.E., Razumnaya A.G. Tunable Electromechanical Properties of a Barium Strontium Titanate Ferroelectric Film Under a Uniaxial Stress // IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control. 2020. V. 67(12). P. 2704-2709. DOI: 10.1109/TUFFC.2020.3011591.
   7. Тимошенко П.Е., Широков В.Б., Калинчук В.В. Конечно-элементное моделирование характеристик ПАВ-фильтров на основе тонких пленок титаната бария стронция // Экологический вестник научных центров Черноморского экономического сотрудничества. 2020. Т. 17. № 4. С. 48-56. DOI: 10.31429/vestnik-17-4-48-56.
   8. Mukhortov V.M., Golovko Y.I., Anokhin A.S., Stryukov D.V., Biryukov S.V., Timoshenko P.E. Structure, Lattice Dynamics, Properties of Bismuth Titanate Heterostructures // Journal of Physics D: Applied Physics. 2020. V. 53(3). P. 035304. DOI: 10.1088/1361-6463/ab4bf6.
   9. Широков В.Б., Тимошенко П.Е., Калинчук В.В. Управление свойствами сегнетоэлектрической пленки BaXSr1-XTiO3 // Прикладная механика и техническая физика. 2021. Т. 62. № 5 (369). С. 80-88.
   10. Shirokov V.B., Kalinchuk V.V., Timoshenko P.E. Efficiency of Generation of Surface Acoustic Waves in Barium Strontium Titanate Thin Films // IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control. 2022. V. 69(5). P. 1815-1820. DOI: 10.1109/TUFFC.2022.3163610.
   11. Lerer A.M., Timoshenko P.E., Rochal S.B. Terahertz frequency selective surfaces using heterostructures based on two-dimensional diffraction grating of single-walled carbon nanotubes // International Journal of Smart and Nano Materials. 2022. DOI: 10.1080/19475411.2022.2148307.

Протокол заседания диссовета: 5, 26.04.2023

Члены диссертационного совета, присутствовавшие на заседании при защите диссертации:

Машин А.И., Марычев М.О., Бурдов В.А., Демидов Е.С., Дорохин М.В., Павлов Д.А., Сомов Н.В., Тетельбаум Д.И., Трушин В.Н., Филатов Д.О., Шенгуров В.Г., Якимов А.В.

Заключение диссовета

26.09.2022 - Текст диссертации размещён в сети Интернет

09.02.2023 - Диссертация принята к защите (протокол № 2)

04.05.2023 - Решение диссертационного совета по результатам защиты диссертации: присудить учёную степень кандидата наук, протокол: 5, 26.04.2023