Главная страница
Главная страница
Диссертационные советы
Текущая работа диссоветов
Архив
Справочная информация по вопросам научной аттестации
Ф.И.О. Волкова Екатерина Ивановна
Диссертация Кандидатская диссертация на тему: Исследование и разработка МЭМС-вакуумметра с монокристаллическим кремниевым резонатором (8.65 Мб, загрузить)
Диссертационный совет 24.2.340.01
Научная специальность 2.2.2. - Электронная компонентная база микро- и наноэлектроники, квантовых устройств (физико-математические науки)
Дата защиты 26.04.2023
Статус принята к защите
Автореферат Загрузить
Объявление на сайте ВАК https://vak.minobrnauki.gov.ru/advert/100071981
Ведущая организация Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования «Национальный исследовательский Томский политехнический университет» (ФГАОУ ВО НИ ТПУ, ТПУ, Национальный исследовательский Томский политехнический университет, Томский п

Адрес: Россия, 634050, г. Томск, проспект Ленина, дом 30
Канцелярия:
634050, г. Томск, пр. Ленина, 30, главный корпус, офис 127
+7 (3822) 60-63-33
+7 (3822) 60-64-44
tpu@tpu.ru
https://tpu.ru

Организации, где выполнялась диссертация ННГУ им. Н.И. Лобачевского
Место работы Филиал ФГУП "РФЯЦ-ВНИИЭФ" "НИИИС им. Ю.Е. Седакова"
Научный руководитель Попков Сергей Алексеевич, кандидат физико-математических наук, федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования «Национальный исследовательский Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского», старший научный сотрудник кафедры физики полупроводников, электроники и наноэлектроники физического факультета (отзыв)
Оппоненты
  1. Калугин Виктор Владимирович, доктор технических наук, доцент, Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования «Национальный исследовательский университет «Московский институт электронной техники», профессор Института нано- и микросистемной техники

    Наименования отрасли науки, научной специальности, по которым оппонентом защищена диссертация:
    05.27.06 - Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники (технические науки)

    Список основных публикаций официального оппонента по теме диссертации в рецензируемых научных изданиях за последние 5 лет:
    1. Калугин В.В., Анчутин С.А., Кочурина Е.С., Головинский М.С., Шалимов А.С. Оценка работоспособности чувствительного элемента преобразователя линейных ускорений и расчет основных параметров // Приборы. Приборы и средства автоматизации. №9 (219). 2018. С.1-5.
    2. Korobova N., Razzhivalov P., Kalugin V. Estimation of the external factors influence on the sensor accuracy // Proceedings of the 2018 IEEE Conference of Russian Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering, ElConRus 2018. Volume 2018, P. 1631-1634. DOI: 10.1109/EIConRus.2018.8317413.
    3. Timoshenkov S., Kalugin V., Anchutin S., Kochurina E. Simulation of the sensitive elements of the micro-accelerometer with the software product ANSYS // Proceedings of International Conference «Micro- and Nanoelectronics – 2018». 2018. IC MNE. IC Micro- and nanoelectronics. Book of Abstracts. 2018. Moscow, Zvenigorod, Russia. P1-23. P.95.
    4. Шалимов А.С, Тимошенков С.П., Головинский М.С, Долговых Л.И, Калугин В.В. Обеспечение работы и самокалибровки МЭМС- инклинометра в условиях воздействия различных внешних воздействующих факторов. // Нано-и микросистемная техника, Т.20, №2. 2018 г., С.124-128.
    5. Шалимов А.С., Кочурина Е.С., Калугин В.В., Тимошенков С.П. Разработка и моделирование МЭМС-устройств // Учебное пособие. ISBN 978-5-7256-0919-6. М.: МИЭТ. 2019. -144 с.
    6. Тимошенков С.П., Калугин В.В., Анчутин С.А., Зарянкин Н.М., Кочурина Е.С. Особенности конструкции и технологии изготовления чувствительного элемента микроакселерометра // Наноиндустрия. Номер: S (89). 2019. С. 480-483. DOI: 10.22184/NanoRus.2019.12.89.480.483.
    7. Калугин В.В., Юзов П.П., Собанин Р.О. Анализ конструкции и материалов для работы МЭМС-датчиков в условиях открытого космоса // Сборник трудов Научно-практической конференции «Интеллектуальные системы и микросистемная техника. 2019. С.45-50.
    8. Тимошенков А.С, Анчутин С.А., Кочурина Е.С., Мусаткин А.С., Головинский М.С., Калугин В.В., Пузиков В.В., Тимошенков С.П. Разработка и исследование микромеханического акселерометра // Наноиндустрия. Номер: S96-2. 2020. С. 445-449. DOI: 10.22184/1993-8578.2020.13.3s.445.449.
    9. Тимошенков А.С, Анчутин С.А., Кочурина Е.С., Зарянкин Н.М., Калугин В.В., Плеханов В.Е., Полушкин В.М. Разработка микромеханического акселерометра // Наноиндустрия. Том: 13. № S5-2 (102). 2020. С. 617-620. DOI:10.22184/1993-8578.2020.13.5s.617.620.
    10. Калугин В.В., Виноградов А.И., Калугина И.В. Создание микромеханического элемента с вертикальным профилем для СВЧ-приборов // СВЧ-техника и телекоммуникационные технологии. Номер: 1-2. 2020. С.255-256.
    11. Тимошенков С.П., Калугин В. В., Кобзева А.С., Изергин О. Е. Исследование процесса глубокого травления кремния // Сборник статей Национальной (Всероссийской) научно-практической конференции «Инновационные механизмы решения проблем научного развития». Уфа. 2021. С.41-44.
    12. Тимошенков С. П., Анчутин С. А., Зарянкин Н. М., Калугин В. В., Кочурина Е. С., Тимошенков А. С., Боев Л. Р. Проектирование и изготовление чувствительного элемента МЭМС-акселерометра // Нано- и микросистемная техника. Т. 23, № 2, 2021. С. 63-67. DOI:10.17587/nmst.23.63-67.
    13. Kochergin M.D., Anchutin S.A., Zaryankin N.M., Kochurina E.S., Kalugin V.V. Development of a Micromechanical Accelerometer // Proceedings of the 2021 IEEE Conference of Russian Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering, ElConRus 2021. Volume 2021. P. 2442 - 2445. DOI:10.1109/ElConRus51938.2021.9396108.
    14. Sosnovsky A.V., Kalugin V.V., Burakov M.M. Investigation of Bondply Leakage Disposition at Inner PCB Layers during Process of Thermal-Pressure Bonding // Proceedings of the 2021 IEEE Conference of Russian Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering, ElConRus 2021. Volume 2021. P. 2491 - 2494. DOI: 978-073814275-3.10.1109/ElConRus51938.2021.9396725.
    15. Кочурина Е.С., Анчутин С.А., Калугин В.В., Зарянкин Н.М., Тимошенков А.С., Дернов И.С. Разработка чувствительного элемента микромеханического акселерометра // Известия вузов. Электроника, Т. 27, № 1, 2022. С. 59-67. DOI: 10.24151/1561-5405-2022-27-1-59-67.

  2. Тимошенко Павел Евгеньевич, кандидат физико-математических наук, доцент, Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования «Южный федеральный университет», доцент кафедры «Нанотехнология» физического факультета

    Наименования отрасли науки, научной специальности, по которым оппонентом защищена диссертация:
    01.04.03 - Радиофизика (физико-математические науки)

    Список основных публикаций официального оппонента по теме диссертации в рецензируемых научных изданиях за последние 5 лет:
    1. Leontyev I.N., Timoshenko P.E., Mikheykin A.S., Allix M., Rakhmatullin A., Kuriganova A.B., Smirnova N.V., Maslova O.A. On the Evaluation of the Average Crystalline Size and Surface Area of Platinum Catalyst Nanoparticles // Physica Status Solidi (B): Basic Solid State Physics. 2018. V. 255. № 10. 1800240. DOI: 10.1002/pssb.201800240.
    2. Timoshenko P.E., Kalinchuk V.V., Shirokov V.B. Finite-element analysis of scattering parameters of surface acoustic wave bandpass filter formed on barium titanate thin film // International Journal of Smart and Nano Materials. 2018. 9 (2). P. 88-98. DOI: 10.1080/19475411.2018.1447045
    3. Shirokov V.B., Kalinchuk V.V., Timoshenko P.E. Electric-field-dependent mechanical and electrical properties of barium strontium titanate films for tunable device applications // Thin Solid Films. 2018. V. 657. P. 8-15. DOI: 10.1016/j.tsf.2018.04.029.
    4. Лерер А.М., Тимошенко П.Е., Головачева Е.В., Кайдашев Е.М., Турчин А.С. Оптические свойства фотонных кристаллов на основе наностержней оксида цинка, покрытых тонкой пленкой плазмонного материала // Электроника и микроэлектроника СВЧ. 2019. Т. 1. С. 209-213.
    5. Конечно-элементное моделирование фотонных кристаллов: Учебное пособие / А. С. Турчин, П. Е. Тимошенко, В. Б. Широков [и др.]. Ростов-на-Дону: Издательство Южного научного центра РАН, 2019. 56 с. ISBN 978-5-4358-0192-7.
    6. Shirokov V.B., Pan'kin A.V., Timoshenko P.E., Razumnaya A.G. Tunable Electromechanical Properties of a Barium Strontium Titanate Ferroelectric Film Under a Uniaxial Stress // IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control. 2020. V. 67(12). P. 2704-2709. DOI: 10.1109/TUFFC.2020.3011591.
    7. Тимошенко П.Е., Широков В.Б., Калинчук В.В. Конечно-элементное моделирование характеристик ПАВ-фильтров на основе тонких пленок титаната бария стронция // Экологический вестник научных центров Черноморского экономического сотрудничества. 2020. Т. 17. № 4. С. 48-56. DOI: 10.31429/vestnik-17-4-48-56.
    8. Mukhortov V.M., Golovko Y.I., Anokhin A.S., Stryukov D.V., Biryukov S.V., Timoshenko P.E. Structure, Lattice Dynamics, Properties of Bismuth Titanate Heterostructures // Journal of Physics D: Applied Physics. 2020. V. 53(3). P. 035304. DOI: 10.1088/1361-6463/ab4bf6.
    9. Широков В.Б., Тимошенко П.Е., Калинчук В.В. Управление свойствами сегнетоэлектрической пленки BaXSr1-XTiO3 // Прикладная механика и техническая физика. 2021. Т. 62. № 5 (369). С. 80-88.
    10. Shirokov V.B., Kalinchuk V.V., Timoshenko P.E. Efficiency of Generation of Surface Acoustic Waves in Barium Strontium Titanate Thin Films // IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control. 2022. V. 69(5). P. 1815-1820. DOI: 10.1109/TUFFC.2022.3163610.
    11. Lerer A.M., Timoshenko P.E., Rochal S.B. Terahertz frequency selective surfaces using heterostructures based on two-dimensional diffraction grating of single-walled carbon nanotubes // International Journal of Smart and Nano Materials. 2022. DOI: 10.1080/19475411.2022.2148307.

История

26.09.2022 - Текст диссертации размещён в сети Интернет

09.02.2023 - Диссертация принята к защите (протокол № 2)

Для участия в заседании диссовета по вопросам присуждения ученых степеней Вам необходимо подать заявление на e-mail диссовета, размещенного на сайте diss.unn.ru. Подробная информация о процедурах подачи заявки и доступа к заседанию совета в удаленном интерактивном режиме содержится в разделе «Об особенностях организации работы диссертационных советов в удаленном интерактивном режиме».принята к защите